設備名稱型號 | ·2600℃高真空快速升溫熱壓爐(200℃/S,標準、加壓和可視化法蘭上蓋,壓力0-50kg) RTP-M1 |
產(chǎn)品特點 | ·6" 不銹鋼管通過上下密封法蘭實現(xiàn)真空密封,真空度可達2x10-2torr(機械泵),5x10-5torr(分子泵); ·加熱元件:石墨片作為加熱元件,最高溫度可達到 2600℃; ·兩個加熱元件之間的間隙可根據(jù)不同的樣品厚度進行調(diào)整; ·上部配置的滑臺與焊接波紋管可應用于熱壓樣品 ·采用高精度紅外測溫儀測量溫度 |
基本參數(shù) | ·電源:AC 220V 50/60HZ ·功率:19 KW ·最大輸出電壓和電流:20V,950A(AC) ·最大輸入電流:87A ·最高加熱溫度:石墨片2600℃(≤60s) ·最快加熱速率:≤200℃/s ·加熱元件:石墨片,石墨加熱坩堝 ·使用不同法蘭上蓋時,請使用不同的石墨坩堝、石墨板及石墨加熱器; ·加壓法蘭上蓋使用石墨板,石墨板尺寸:1*51*171mm(帶孔/不帶孔) ·最大壓力:500N ·為了防止樣品腐蝕或損壞石墨加熱器,可使用分體式石墨坩堝放置在加熱片上,對樣品進行加熱和測試:(使用石墨坩堝時需將坩堝放在石墨板上結(jié)合使用)石墨坩堝尺寸:φ38*7mm(含蓋) ·可視化法蘭上蓋使用石墨加熱器(使用時無需放入上蓋)尺寸:φ51*7*171mm ·根據(jù)客戶加熱樣品尺寸和形態(tài)不同,還可以選配圓形或方形(含蓋)的石墨加熱片。 |
真空腔室與法蘭 | ·腔體材質(zhì):不銹鋼水冷腔體,腔體上帶有水管接口,通過水管與設備側(cè)面的分水器連接。腔體尺寸:φ360*300mm ·水冷腔體左側(cè)有一個KF25接口,接口上安裝了一個不銹鋼三通,三通上有一個φ6.35mm的雙卡套接頭為出氣口,一個不銹鋼針閥控制出氣的通斷;一個KF接口為抽真空接口,通過擋板閥和波紋管與真空系統(tǒng)連接。 ·腔體正前面有一φ60mm的石英觀察窗口 ·水冷腔體內(nèi)部安裝了一個石墨保溫體,尺寸:φ304*268mm ·兩根銅電極安裝在保溫體底部,兩根石墨螺桿安裝在銅電極上,石墨片安裝在兩根石墨螺桿中間,樣品放置在兩個石墨片之間。石墨片底部放置了氮化硼塊。 ·系統(tǒng)中配置了三套法蘭,一套設備標準法蘭,一套加壓裝置的法蘭和一套可視化法蘭(316L材質(zhì)),法蘭采用LF的方式與腔室連接 ·三套法蘭上均含有兩個φ6.35mm的雙卡套接頭,兩個進氣口分別通過一個不銹鋼針閥控制氣體的通斷,一個進氣口通過氣管與與設備背面的出氣口連接,由設備側(cè)面的微量調(diào)節(jié)閥控制進氣的流量,另一個進氣口通過氣管與氣瓶連接。 ·法蘭頂部含有兩個水管接頭,通過水管與水冷設備連接 ·一個石英觀察窗口用于紅外測溫儀探入到設備內(nèi)部測量樣品溫度 |
加壓裝置 | ·加壓裝置法蘭頂部的KF40 的接口上安裝了一根可伸縮波紋管,波紋管尺寸:KF40*170mm,壓縮行程60mm,一個滑臺安裝在背面,滑臺有效行程100mm,滑臺移動,壓縮波紋管的行程調(diào)節(jié)壓力的大小。 ·壓機的上下移動由控制面板上的升降開關(guān)控制,升/降的切換有設備側(cè)面的一檔旋鈕控制 ·采用電動加壓的方式對樣品施加壓力,最大壓力:500N; ·有兩種工作模式,手動加壓和自動加壓,自動加壓帶有恒壓功能,恒壓精度:±3N ·可設置恒定壓力范圍:10-500N ·可設置恒定壓力時間:1-9999min ·可顯示壓力范圍:1-500N |
可視化裝置 | ·可視化法蘭頂部的中間位置安裝了一個石英觀察窗口,用于原位攝像系統(tǒng)進行實時觀測;配套電腦軟件,可以實時進行錄像。 ·標準物鏡,原位觀察放大倍數(shù):24—200倍,工作距離:95mm ·0.4X輔助物鏡,原位放到倍數(shù):10—80倍,工作距離195mm ·調(diào)焦托架:調(diào)焦手輪松緊可調(diào),可升降 ·照明:LED環(huán)形光源 ·相機:500 萬像素索尼芯片高清相機 ·不加熱狀態(tài)下和加熱狀態(tài)下,原位觀察樣品圖片如下: |
溫控系統(tǒng) | ·使用紅外測溫儀檢測溫度,紅外測溫儀溫度測量范圍:400-2600℃ ·測量精度:±0.5% FS ·重復精度:±0.3% FS或 ±1℃ ·響應時間:≤5ms ·可測量最小目標:2mm ·控溫方式:手動控溫和程序控溫(通過“手動/自動切換開關(guān)”切換) ·手動控溫:通過左側(cè)面板上的電流調(diào)節(jié)旋鈕調(diào)節(jié)電流值,從而調(diào)節(jié)溫度 ·程序控溫:安裝了一個數(shù)顯溫度控制器,可設置30段升降溫程序,控溫精度為±1℃ ·溫度控制器的時間設置以秒為單位 |
皮拉尼真空計 | ·測量范圍:1*10-4 mbar—1000 mbar(1*10-4—750 torr) ·準確度:1000mbar—20 mbar(讀數(shù)的30%) 20—0.002mbar (讀數(shù)的2%) ·重復性:20—0.002mbar (讀數(shù)的2%) ·使用濕度:30℃環(huán)境下≤80% 40℃環(huán)境下≤50%無冷凝氣體; ·使用溫度:5℃—60℃ |
水冷機 | ·型號:KJ-6300 ·工作電壓:AC 220V 50HZ ·工作電流:3.4-26.3A, ·制冷量:30708Btu/h ·壓縮機功率:2.64KW, ·水箱容量:40L ·最大流量:75L/min, ·凈重:113Kg |
真空系統(tǒng)(選配) | ·型號:VRD-24 ·抽氣速率:6.6L/S ·電機功率:750 W ·極限壓強:4×10-1Pa(不帶負載) ·實際壓強:≤2 Pa(帶上爐管和密封法蘭,冷態(tài)下機械泵抽20分鐘) ·如果想要獲得更高的真空度(10-5toor or better)可選購國產(chǎn)或進口高真空機組 |
設備外形尺寸 | ·熱壓爐:950mm(L)*670mm(W)*1950mm(H) |
凈重 | ·約400KG |
質(zhì)保 | ·一年保修,終身技術(shù)支持 ·特別提示: 1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損失不在保修范圍內(nèi)。 |
使用注意事項 | ·腔室內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa(相對氣壓); ·由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向腔室內(nèi)通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,為了確保安全,建議使用壓力低于0.02MPa,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全; ·對于樣品加熱的實驗,不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等) ·我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體,如果客戶工藝原因確實需要使用易燃易爆和有毒氣體,請客戶自行做好相關(guān)防護和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關(guān)問題,本公司概不負責。 |
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