| 電源 | 1000W 220V/AC |
| 特點 | 1.可原位實時觀察樣品 2.兼具CVD/PVD功能 3.采用雙陶瓷板樣品臺加熱 4.兩溫區(qū)獨立控溫 |
| 爐體結(jié)構(gòu) | · 特制石英管：外徑 30 x 內(nèi)徑 25 x 長370（mm）， 一個直徑 12 mm 的扁平高透光率窗口焊接在管子上，用于原位觀察薄膜生長 · 真空密封法蘭：包括電極、熱電偶、帶 KF 25 真空端口的氣體入口和出口的饋通件 · 微加熱板：兩個 W17 x L 25 mm 的陶瓷涂層加熱板從兩端插入加工管中。左側(cè)加熱板可調(diào)。 · 最高加熱溫度：1100℃，最大升溫速率：5℃/S · 法蘭支架高度可調(diào)
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| 溫度控制 | · 兩個具有 50 段可編程的溫度控制器，用于獨立控制兩個加熱板 · 內(nèi)置PID自動調(diào)諧功能 · 具有熱電偶過熱保護(hù)與損壞報警功能 · ±1℃溫度精度 · 兩個K型熱電偶（每個區(qū)域一個）
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| 可選配件 | · 耐腐蝕數(shù)字真空計 · 雙級旋片真空泵 · 可選質(zhì)量流量控制器（0-2L/min） |
| 尺寸 |
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| 保修 | · 一年保修，提供提升時間支持（爐管和O形圈等耗材不在保修范圍內(nèi)） |
| 筆記本電腦，軟件和WIFI控制（可選） | · 可配備電腦進(jìn)行控制 · 基于Labview的自研溫度控制系統(tǒng) （EQ-MTS01） 。使用戶能夠編輯，記錄，儲存溫度曲線等數(shù)據(jù)
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| 認(rèn)證 | · CE認(rèn)證 · UL,NRTL或CSA認(rèn)證需額外收費 |
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