設備名稱型號 | 供氣系統 GSL-1Z-LCD |
產品特點 | · 結構小巧,操作方便 · 數字式流量設定,方便快捷 · 流量顯示精準,穩定可靠 |
基本參數 | · 電源:AC 220V 50HZ · 功率:20W · 流量范圍:5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM 1,2,3,5,10 SLM · 準確度:±1.5% F.S |
結構 | · 設備背面設有兩個φ6.35的卡套接頭,一個為進氣口,一個為出氣口 · 外部通氣管道為1/4″的聚四氟管 · 內部通氣管道為1/4″的不銹鋼管 · 一個φ6.35帶塑料手柄的直角針閥安裝在設備前面板,控制氣體的通斷。 · 一個顯示儀用于調節氣體流量與管道的清洗。 |
顯示儀 | · 型號:D08-1F · 最大流量顯示為:9999 · 顯示儀的面板上裝有“閥控”開關。閥控開關有三個位置,正常工作時置于“閥控”位,需要通氣清洗通道時,置于“清洗”位,不用時應置于“關閉”位。 · 設有一個流量設定旋鈕,通過旋轉旋鈕調節進氣流量的大小,如下圖:氣體流量為93(先讀旋鈕A上的十位數,再讀旋鈕B上的個位數)。C為機械鎖(鎖上后旋鈕無法轉動) · 當需要設定的流量為100 SCCM時,需將A、B旋鈕順時針旋轉到0,即上下旋鈕所對應的數字為“00”。 |
設備外形尺寸 | 360mm(L)*300mm(W)*195mm(H) |
重量 | 約6KG |
質保 | 一年質保期,終生維護 |
注意事項 | · 如果使用鋼瓶作為氣源時,每只氣瓶最低必須保留0.5MPa的余壓; · 減壓閥應采用調控范圍再0.02—0.25Mpa的專用氣體減壓閥; · 標準流量計通道采用的材料為:316L不銹鋼和氟橡膠密封圈,通入的氣體應無水汽、低泄漏, 在使用流量計過程中需要定期進行清洗。如果要使用氯化物、硫化物、氨氣等易腐蝕氣體,請 在定貨時進行說明。由于定貨時沒有進行說明并通入腐蝕性氣體而造成的設備損壞公司售后維 修會收取相應的費用。 · 我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體,如果客戶工藝原因確實需要使用易燃易爆和有 毒氣體,請客戶自行做好相關防護和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關問題, 本公司概不負責。 |