產(chǎn)品名稱 | · 1100℃雙管滑動快速加熱冷卻爐 |
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產(chǎn)品提示 | 1.多種配件可選提示 2.科晶實驗室邀請?zhí)崾?/span> ? 3.配件妥善保管提示 |
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主要特點 | · 雙石英管:外管直徑100mm ,懸掛的內(nèi)管直徑80mm. 金屬箔纏繞在內(nèi)管的外表面上發(fā)生CVD反應(yīng)。(見下圖) · 兩根爐管上安裝有真空密封法蘭,允許反應(yīng)氣體在兩個管(10mm間距)之間流動,惰性氣體在管內(nèi)流動以進行冷卻。 · 搭載由多通道流量控制系統(tǒng)和真空泵共同組成的CVD系統(tǒng)。 · 爐子的底部安裝有一對滑軌,可使?fàn)t子從爐管的一側(cè)滑動到另一側(cè),以實現(xiàn)快速加熱和快速冷卻。 · 包含一個止滑夾,用于固定爐子的位置。 · 最高溫度可達1100℃。 · 雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風(fēng)冷系統(tǒng),可有效降低殼體表面溫度。 · 內(nèi)爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命。 · 開門斷電,提高實驗安全性。 |
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基本參數(shù) | · 最高溫度: 1100℃(≤30min) 工作溫度: 1000℃ · 推薦升溫速率:≤10℃/min · 加熱元件:摻鉬鐵鉻鋁合金 · 電壓:220V · 可根據(jù)需求選擇單溫區(qū)或雙溫區(qū)兩種爐膛。(雙溫區(qū)見下圖) · 加熱爐額定功率:3KW(不包括CVD系統(tǒng)) · 加熱區(qū):400mm(單溫區(qū)),200mm*2(雙溫區(qū)) |
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爐管及滑軌 | · 高純石英管80mm外徑x 1800mm長 · 高純石英管100mm外徑x 1400mm長 · 鍍鉻鋼制成的雙滑軌 |
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真空法蘭 | · 不銹鋼真空法蘭安裝在爐管的兩端,便于組裝。 |
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多通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng) | · 適用于低壓小流量,多種氣體單一/混合連續(xù)供氣系統(tǒng)。尤其方便多種氣體的切換使用,而不會造成大氣進入加熱管。 · 氣體壓力和流量數(shù)據(jù)在同一平面直觀可讀,外形美觀、實用,操作簡便。 · 采用觸摸屏來控制氣體的流量,顯示流量準(zhǔn)確,方便操作。 · 所有儀表及閥門的連接均采用活接頭連接,便于維修拆卸。 · 多通道質(zhì)子流量計系統(tǒng)參數(shù): · 輸入電壓:AC 220V/50Hz單相 · 功率:23W
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真空系統(tǒng) | · 此設(shè)備可根據(jù)需求配置合適的真空泵組。
·GZK-101低真空機組: ·工作電電壓:220V,50~60HZ ·功率:1KW ·系統(tǒng)極限真空度:1.0*10-1Pa ·抽氣速率:4.4L/ S
· 103G高真空機組:
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溫控系統(tǒng) | · 采用PID方式調(diào)節(jié)溫度,可設(shè)置50段升降溫程序 · 溫控儀表中帶有過熱和斷偶保護 · 儀表控溫精度: +/- 1°C |
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開門斷電 | · 為保證使用安全,該電爐為開門斷電設(shè)計 |
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質(zhì)保期 | · 一年保修,終身技術(shù)支持。 1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 |
應(yīng)用技術(shù)提示 | · 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥。 · 進入爐管的氣體流量需小于200sccm,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊。 · 石英管的長時間使用溫度<1100℃。 · 降溫時請利用程序降溫,不建議直接按“STOP”鍵降溫,設(shè)備溫度未降到室溫前不要直接關(guān)掉設(shè)備電源,防止出現(xiàn)安全問題。
· 嚴(yán)禁氧氣和氫氣同時使用或混合使用,使用有毒有害,易燃易爆的氣體前請嚴(yán)格檢查氣路的氣密性,使用氫氣前排空管內(nèi)的氧氣。不用氫氣時,應(yīng)關(guān)閉閥門。 · 第一次使用,或長時間不用再次使用時,請分別點擊二個“通道清洗”(清洗通道),將管路內(nèi)有可能存在的污染物或氣體進行吹洗。 · 流量計通道采用的材料為: 00Cr17Ni14Mo2 (相當(dāng)于316L不銹鋼) ,氟橡膠等為易腐蝕材料。通入的氣體應(yīng)無水汽、低泄漏、需勤清洗、如果要使用腐蝕性氣體用戶應(yīng)在定貨時聲明。 · 不得通氯化物、硫化物、氨氣等易腐蝕的氣體,否則容易損壞通氣管道,混氣罐等不銹鋼材質(zhì)的配件。由于通入腐蝕性氣體而造成的設(shè)備損壞公司售后維修會收取相應(yīng)的費用。 · 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向混氣系統(tǒng)內(nèi)通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥。減壓閥應(yīng)采用調(diào)控范圍在0.02—0.25Mpa 的專用氣體減壓閥(YQY-6(氧)、 YQQ-9(氫)、YQE-03(乙炔)、YAr-04(氬氣)等) · 氫氣瓶必須使用專用的減壓器,開啟氣瓶時,操作者應(yīng)站在閥口的側(cè)后方,動作要輕緩。 · 氣瓶應(yīng)放置在陰涼通風(fēng)處,避免陽光直曬,又能耐火的專門建筑物或室外,嚴(yán)禁將氣瓶和高溫設(shè)備放在一起。 · 嚴(yán)禁使用瓶口有油污的氧氣瓶。 · 每只氣瓶最低必須保留0.5 MPa的余壓。 |
警示 | · 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時,爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng),保持在常壓狀態(tài)。 · 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa。 · 爐管不建議正壓使用,對于樣品加熱的實驗,不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等)。 · 滑動加熱室即可快速冷卻樣品。 如果要這樣做,請穿戴防護裝備,例如耐熱服和手套。 加熱時請勿觸摸管子表面。 · 如需高溫取樣,請務(wù)必穿戴好安全裝置.
· 不要放在不平或有震動的產(chǎn)所,否則容易引發(fā)設(shè)備不穩(wěn)而傾倒的危險。 · 不要將螺釘、墊片等金屬物掉進設(shè)備內(nèi)部,否則有使設(shè)備發(fā)生短路或火災(zāi)的危險。 · 不要放在容易濺上水的場所,水等進入產(chǎn)品本體的話,可能引起火災(zāi)、觸電事故。 · 設(shè)備的控制電路部分要進行定期檢查(半年檢查一次),對線路進行緊固,若發(fā)現(xiàn)有線路有絕緣層脫落、接線脫落時應(yīng)及時處理,否則會導(dǎo)致設(shè)備短路或發(fā)生火災(zāi)的危險。 · 必須由具有專業(yè)資格的人員才能更換零件,嚴(yán)禁將線頭或金屬物遺留在設(shè)備內(nèi),否則有引發(fā)爆炸和發(fā)生火災(zāi)的危險。 |
可選配件 | · 建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全。(請點擊這里學(xué)習(xí)如何安裝減壓閥)。(圖1) · 可選購壓力控制模塊來監(jiān)控并保持工作腔室壓力穩(wěn)定。(圖2) · 可選購歐陸儀型溫控儀表,控溫精度可以提升到±0.1℃。(圖3) · 可選購石英管堵,提高路管內(nèi)的潔凈度和幫助獲得高真空。(圖4) · 可選購石英舟盛放樣品。(圖5) · 可在本公司購買生長石墨烯的銅箔。(圖6) 圖一 圖二 圖三 圖四 圖五 圖六 |
PC控制(選配) | · 請在購買爐子前,準(zhǔn)備一臺電腦。 · 可選購MTS-02?控制軟件,可在電腦上顯示和設(shè)定壓力和溫度程序,以達到遠程控制。 · 購買帶有PC控制的加熱爐,如有疑問請聯(lián)系我們的銷售人員。 |
真空配件(選配) | · 真空可選配件包括真空泵,波紋管和手動擋板閥。 · 對于易損耗件高溫硅膠O型密封圈除了標(biāo)配數(shù)量外可進行額外訂購。 · 機械真空計(作為設(shè)備標(biāo)配),范圍從-0.1到0.15Mpa。 · 可選配防腐型數(shù)顯真空表,測量范圍為3.8×10E -5至1125 Torr之間。除了具有較高的精度和重復(fù)性及較短的響應(yīng)時間外,該儀表還降低了由于氣體類型依賴性而造成的氣壓讀數(shù)錯誤從而導(dǎo)致的腔室爆炸風(fēng)險。 |
水冷機(選配) | · 可選購水冷機降低法蘭總成溫度,避免高溫密封硅膠圈融化。 |
改造單管爐(選配) | · 可通過訂購額外的密封法蘭并將其安裝到內(nèi)管上,從而形成單管反應(yīng)室: · 法蘭兩端分別有1/4''直通接頭供客戶插入測量傳感器(例如用于溫度校準(zhǔn)的可插入熱電偶),帶有機械壓力表和KF25接頭。 |
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