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膜厚監(jiān)測(cè)儀
- 型號(hào)：
- EQ-TM106
- 產(chǎn)品概述：
- EQ-TM106膜厚監(jiān)測(cè)儀是采用石英晶體振蕩原理，結(jié)合先進(jìn)的頻率測(cè)量技術(shù)，進(jìn)行膜厚的在線監(jiān)測(cè)。主要應(yīng)用于MBE、OLED熱蒸發(fā)、磁控濺射等設(shè)備的薄膜制備過(guò)程中，對(duì)膜層厚度及鍍膜速率進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)。根據(jù)實(shí)時(shí)速率可以輸出PWM模擬量，作為膜厚傳感器使用，與調(diào)節(jié)儀和蒸發(fā)電源配合實(shí)現(xiàn)蒸發(fā)源的閉環(huán)速率控制。
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技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品視頻實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
| 主要特點(diǎn)
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本機(jī)可與計(jì)算機(jī)連接。 顯示儀具有界面簡(jiǎn)潔、直觀、合理、操作方便快捷等優(yōu)點(diǎn)，可直觀顯示所測(cè)的膜厚、速率、頻率、PWM 控制輸出的百分比等工作狀態(tài)。 通過(guò)軟件或顯示儀可對(duì)門控時(shí)間、輸出方式、速率算法、材料參數(shù)、輸出量程及通訊參數(shù)等進(jìn)行設(shè)置，并可將所測(cè)相關(guān)數(shù)據(jù)寫入Excel文件。 具有體積超小、測(cè)量精度高、操作簡(jiǎn)單、使用方便等優(yōu)點(diǎn)。
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| EQ-TM106-1監(jiān)測(cè)組件
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電源：DC 5V（±10%），最大電流400mA 頻率分辨率：±0.03Hz 膜厚分辨率：0.0136?（鋁） 膜厚準(zhǔn)確度：±0.5%，取決于過(guò)程條件，特別是傳感器的位置，材料應(yīng)力，溫度和密度 測(cè)量速度：100ms-1s/次，可設(shè)置 測(cè)量范圍：500000?（鋁） 標(biāo)準(zhǔn)傳感器晶體：6MHz 計(jì)算機(jī)接口：RS-232/485串行接口（波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可設(shè)置，數(shù)據(jù)位：8，停止位：1，校驗(yàn)：無(wú)） 模擬輸出：8比特分辨率，PWM脈寬調(diào)制輸出（集電極開(kāi)路或內(nèi)部5V輸出） 工作環(huán)境：溫度0-50℃，濕度5%-85%RH，不得有冷凝水珠 外形尺寸：90mm×50mm×18mm
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| EQ-TM106-2顯示儀
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| EQ-TM106-3探頭
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| 標(biāo)準(zhǔn)配件
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1EQ-TM106-1監(jiān)測(cè)組件1個(gè)2EQ-TM106-2顯示儀1臺(tái)3EQ-TM106-3探頭1個(gè) |
| 質(zhì)保期
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一年質(zhì)保期，終身維護(hù) |
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