| 名稱 | 惰性氣體凈化系統-GPH-DHDO |
| 產品特點 | ·輸入：輸入氣體純度要求：<1000 ppm（99.9％）
·輸出：清除雜質至<0.1 ppm（O2≤0.1 ppm H2O，-76℃露點溫度）（請點擊此處轉換濕度單位）
·304L不銹鋼罐（<10 Ra EP）
·再生操作簡單方便
·內置數字溫度控制器和氣體流量計控制
·再生后可凈化多達80L惰性氣體
·設備需在270℃下再生（需使用5N純度的95％N2 + 5％H2氣體） |
| 電源 | ·220v 50Hz
·功率：500W（加熱過程中） |
| 最大壓力輸出 | 0.5MPa |
| 工作溫度 | 室溫-300℃ |
| 氣體泄漏率 | <2 x 10-9 atm cc/sec He |
| 溫度控制器 | 控溫精度±1 oC |
| 最大氣流 | 400mL/min |
| 質保期 | 一年保修，終身技術支持。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。 |
| 使用提示 | ·您可以選購精密質子流量計，輸入氣體更加準確（圖一）
·此系統可以和本公司所有的管式爐和CVD系統相連接（圖二）
圖一 圖二 |
| 外形尺寸 | 445mm L X 400mm W X 190mm H |
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