| 爐體結構 | 爐體采用雙層殼體結構，并帶有風冷系統 l 用高純氧化鋁纖維作為爐膛材料，并且表面涂有高溫氧化鋁涂層（可提高加熱效率和延長使用壽命） l 加熱元件：摻鉬鐵鉻鋁合金（表面涂有氧化鋯涂層，可延長使用壽命） l 開啟式的爐體設計，使更換爐管更加方便 l 可手動變更爐體模式為立式爐，用于樣品的吊燒和淬火
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| 電壓&功率 | l 電壓：AC220V，50/60Hz l 最大功率：12KW |
| 工作溫度 | 最高工作溫度1200℃ 連續工作溫度1100℃ 1200℃＜半小時 |
| 最大加熱速率 | 10℃/min |
| 石英管&管堵所放位置 | 爐管尺寸：OD: 100 mm×ID. 95mm×L2000mm 儀器中配有氧化鋁管堵，使用時必須放在石英管兩端（點擊圖片查看詳細資料）
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| 密封法蘭 | 設備中配有一套快捷開啟式密封法蘭（爐體兩端帶有支架，用于支撐法蘭） l 左端法蘭上安裝不銹鋼截止閥（用于通入氣體）和機械真空表 l 右端法蘭上安裝不銹鋼截止閥以及預留的KF25接頭（用于連接真空泵）
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| 真空度 | l 10E-3Torr(采用機械泵) l 10E-5Torr(采用分子泵) |
| 加熱區 | l 10個溫區，每個溫區長度為120mm l 總溫區長度: 1570mm（含絕熱層） 注意：可通過在溫區之間添加絕熱環來調節溫度梯度 |
| 溫控系統 | l 控制柜與爐體分開，采用觸摸屏來操作來控制十個溫區，每個溫區有獨立的控制通道。 l 每個控制通道可設置50段升降溫程序 l 設有超溫和斷偶保護 l 控溫精度為：+/- 1 oC l 熱電偶：采用K型鎧裝熱電偶 l 控制面板上安裝有RS485接口，可連接電腦將數據導出
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| 可選 | l 客戶可選購多通道質量流量計供氣系統，用于和管式爐配合來做CVD實驗
l 可選購壓力控制系統，來確保爐管內氣壓恒定
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| 產品尺寸 | 1980×1300×2500mm
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| 產品重量 | 200kg |
| 質保 | 一年質保期，終生維護（不含爐管、密封圈和加熱元件等損耗件） |
| 質量認證 | 若客戶出認證費用，本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或CAS認證
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| 使用注意事項 | l 爐管內氣壓不可高于0.02MPa l 由于氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全 l 當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態，爐管內的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態 l 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊 l 石英管的長時間使用溫度≤1100℃ l 對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數，若氣壓表示數大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發生（如爐管破裂，法蘭飛出等） |
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