型號 | OTF-1100X-15-III |
爐體結(jié)構(gòu) | ? 雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風(fēng)冷系統(tǒng) ? 采用氧化鋁纖維作為爐膛材料 ? 加熱元件:SiC棒 ? 設(shè)備中配有2個氧化鋁管堵,以保證爐膛內(nèi)部溫度均勻性(爐體加熱前,管堵必須塞入到爐管內(nèi)部) ? 此管式爐可作為退火或擴(kuò)散管式爐(6英寸或8英寸晶片可用特殊石英支架裝載) ? 電動開啟式設(shè)計,使得用戶操作更加簡便 結(jié)構(gòu)圖氧化鋁管堵晶片裝載電動開啟 |
加熱區(qū) | ? 總加熱區(qū)長度1000mm ? 三個加熱區(qū): 330 mm + 330 mm + 330mm (12" per zone) |
工作溫度 | ? 最高工作溫度1100℃ ? 最高加熱速率:10℃/min ? 加熱元件:SiC棒(36根) |
溫控系統(tǒng) | 控溫精度為+/-0.5℃ |
爐管 | ? 15英寸高純石英爐管:尺寸:400mm OD. x 388mm ID. x 1860mm L ? 注意:石英爐管易碎,操作需謹(jǐn)慎 |
真空密封&法蘭 | ? 一對不銹鋼真空密封法蘭(鉸鏈?zhǔn)剑?個硅膠密封圈,可使?fàn)t管內(nèi)真空度達(dá)到10^-3torr(采用機(jī)械泵抽真空) ? 左端法蘭:安裝有不銹鋼針閥,Φ6.35的進(jìn)氣口 ? 右端法蘭:KF40真空泵接口Φ6.35鎧裝接口(用于熱偶插入到爐管內(nèi),測量爐管內(nèi)溫度和進(jìn)行溫度校準(zhǔn)) |
可選 | ? 此管式爐需定期校準(zhǔn),以保證溫度的準(zhǔn)確性和均勻性,我們可提供簡單的校準(zhǔn)工具: ·1根1200mm的K型鎧裝熱偶 ·1個Omega溫度校準(zhǔn)儀表 ·此型號管式爐只可選用機(jī)械泵,且最低真空度只能夠抽到-0.05MPa,否則可能造成爐管損傷 ·4'' ~ 8'' 晶片石英支架 ? 可與手套箱系統(tǒng)聯(lián)用,實現(xiàn)氧敏感性材料的燒結(jié)制備 |
電壓 | ? 三相380V,50/60 Hz |
額定功率 | ? 20KW |
產(chǎn)品尺寸 | ? 2300L x 1500W x 1400 H mm |
凈重 | ? 300kg |
質(zhì)保期 | ? 一年質(zhì)保期,終身維護(hù)(不包含爐管,加熱元件和密封圈) |
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認(rèn)證 | ? 此產(chǎn)品已通過CE認(rèn)證 證書編號:M.2021.206.C67998 |
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